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網(wǎng)址:www.zbh19881126.cn截至2026年5月,全球半導(dǎo)體行業(yè)正經(jīng)歷一個結(jié)構(gòu)性和根本性的轉(zhuǎn)折點,這主要得益于生成式人工智能和高性能計算的指數(shù)級增長。數(shù)據(jù)中心和計算基礎(chǔ)設(shè)施為處理參數(shù)規(guī)模高達(dá)萬億級的大規(guī)模語言模型的訓(xùn)練和推理所需的物理性能,已偏離以往的發(fā)展軌跡,并面臨極限挑戰(zhàn)。摩爾定律曾推動半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)十年快速增長,但如今由于物理和經(jīng)濟(jì)限制,其增速明顯放緩。因此,僅僅依靠提高單個硅芯片上微加工工藝的集成密度,已無法成為提升系統(tǒng)性能的唯一途徑。
為了克服這一技術(shù)僵局,半導(dǎo)體行業(yè)已將目光轉(zhuǎn)向基于異構(gòu)集成的“先進(jìn)封裝技術(shù)”,該技術(shù)將多個芯片組集成到單個封裝中,使其功能如同單個芯片。這標(biāo)志著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)生了巨大的結(jié)構(gòu)性轉(zhuǎn)變,價值創(chuàng)造的中心從前端工藝轉(zhuǎn)移到了后端封裝。尤其值得注意的是,隨著圖形處理器(GPU,人工智能計算的核心)與高帶寬內(nèi)存(HBM)之間數(shù)據(jù)傳輸速度的最大化和功耗的最小化成為決定系統(tǒng)整體性能的關(guān)鍵因素,基板已從芯片的簡單“支撐”發(fā)展成為決定芯片間通信帶寬和能效的最關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。
在這些宏觀趨勢中,近期推動市場發(fā)展的最強勁動力是共封裝光器件(CPO)技術(shù),該技術(shù)旨在利用光來克服電信號傳輸?shù)木窒扌?。由于銅基互連在超高速數(shù)據(jù)傳輸過程中會遇到“熱壁”問題(表現(xiàn)為大量的熱量和信號損耗),CPO 應(yīng)運而生,成為一種將光纖直接連接到芯片上進(jìn)行信號處理的關(guān)鍵技術(shù)。然而,要使 CPO 技術(shù)真正實現(xiàn)商業(yè)化成熟,需要一種全新的基板材料,能夠在單個封裝內(nèi)同時處理電信號和光信號,并保證超精細(xì)電路的實現(xiàn)和熱穩(wěn)定性。
正是在此時,玻璃基板迅速崛起,成為最終解決光通信(CPO)瓶頸、完善下一代封裝生態(tài)系統(tǒng)的終極方案,同時也是繼光通信之后的一項關(guān)鍵發(fā)展趨勢。
與CPO生態(tài)系統(tǒng)的必然聯(lián)系和不可替代性
玻璃基板之所以被視為半導(dǎo)體市場中CPO主題的直接繼承者并推動資本輪動,原因在于,除了這兩種技術(shù)僅僅是相鄰之外,玻璃基板還為CPO的實現(xiàn)提供了一個完美且不可替代的“物理平臺”。隨著人工智能時代的到來,云計算和超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心所需的帶寬正以前所未有的速度增長。隨著數(shù)據(jù)中心網(wǎng)絡(luò)交換機的容量在不久的將來從51.2 Tbps增長到102.4 Tbps,現(xiàn)有的使用銅線和有機基板的電信號傳輸方法正面臨著嚴(yán)重的信號完整性下降和發(fā)熱問題。銅線在高頻下電阻會急劇增加,導(dǎo)致大量功率以熱量的形式損耗;這正是嚴(yán)重降低人工智能加速器能效的主要原因。
克服銅線布線局限性的解決方案是光互連技術(shù),它通過光傳輸數(shù)據(jù)。然而,在傳統(tǒng)的有機襯底或硅中介層上實現(xiàn)將光學(xué)元件(激光器、調(diào)制器、光電探測器)和電子元件(ASIC邏輯芯片)高密度封裝到單個封裝中的CPO結(jié)構(gòu),會導(dǎo)致工藝極其復(fù)雜。傳統(tǒng)的有機襯底不透光且表面粗糙度嚴(yán)重,使得光學(xué)元件的精確對準(zhǔn)成為不可能。雖然硅中介層可以實現(xiàn)微加工,但其成本極其高昂,并且在光電集成領(lǐng)域也存在明顯的局限性。
相比之下,玻璃基板具有獨特的物理特性,能夠同時解決CPO的這些挑戰(zhàn)。首先,玻璃本身具有優(yōu)異的光透過率,可以直接在基板內(nèi)集成光波導(dǎo),或者通過離子交換(IOX)技術(shù)建立損耗極低(0.034 dB/cm 級)的光信號傳輸路徑。這使得在基板內(nèi)以混合形式同時傳輸光信號和電信號成為可能。其次,玻璃表面具有納米級的極高平整度。這種平整度可以防止光在傳輸過程中發(fā)生散射,并為激光器和調(diào)制器等光學(xué)元件的精確對準(zhǔn)和安裝奠定了至關(guān)重要的基礎(chǔ)。
事實上,全球領(lǐng)先的科技公司已將玻璃基板與CPO的結(jié)合視為下一代數(shù)據(jù)中心的核心競爭優(yōu)勢,并積極開展研發(fā)和并購活動。例如,英特爾引領(lǐng)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),宣稱玻璃基板是克服超小型化限制、通過集成光器件提升超高速I/O性能的關(guān)鍵基礎(chǔ)。Marvell也堅定致力于在2025年底前以32.5億美元收購光電集成初創(chuàng)公司Celestial AI,從而將芯片組內(nèi)部封裝連接從電連接過渡到光連接。
分析顯示,這一趨勢必將導(dǎo)致對耐熱材料和玻璃基板的爆炸式需求。韓國LG Innotek也采取了積極的舉措,例如集中研發(fā)光電混合傳輸技術(shù),并將其玻璃基板業(yè)務(wù)部門提升為獨立事業(yè)部,旨在進(jìn)軍CPO市場。
玻璃基板的基本原理及應(yīng)用
要理解基于玻璃基板的封裝技術(shù)的本質(zhì),有必要考察現(xiàn)有基板材料的演變歷程以及玻璃的化學(xué)和物理基礎(chǔ)。目前,人工智能加速器和高性能CPU制造中常用的基板是基于有機聚合物塑料材料,例如味之素增材制造膜(ABF)。然而,這些塑料基板本身對熱敏感且表面不平整,在繪制極其精細(xì)的電路時存在物理限制。
玻璃基板的出現(xiàn)正是為了完全取代這些塑料。半導(dǎo)體封裝中使用的玻璃并非窗戶或智能手機屏幕常用的普通鈉鈣玻璃,而是高純度特殊材料,例如雜質(zhì)含量嚴(yán)格控制的熔融石英基玻璃、石英、硼硅酸鹽玻璃或去除堿性成分以提高電氣可靠性的無堿玻璃。
玻璃基板的應(yīng)用遠(yuǎn)不止于人們熟知的大規(guī)模人工智能加速器。憑借玻璃固有的透明性、熱穩(wěn)定性和電絕緣性,這種材料正逐漸成為整個高科技電子行業(yè)的關(guān)鍵組件。短期內(nèi),人工智能和高性能計算(HPC)領(lǐng)域無疑蘊藏著巨大的發(fā)展機遇。這是因為玻璃基板能夠?qū)崿F(xiàn)8到16個甚至更多芯片組的封裝,并無縫集成HBM堆疊,而這些在傳統(tǒng)的曲面有機基板上是無法實現(xiàn)的。此外,玻璃基板在下一代移動通信市場也展現(xiàn)出顯著的優(yōu)勢。在5G大規(guī)模MIMO天線模塊或即將商用的100-300 GHz頻段6G通信基礎(chǔ)設(shè)施中,有機基板的信號損耗率至關(guān)重要;因此,在高頻段具有極低介電損耗的玻璃基板正被廣泛采用,成為一種重要的替代方案。
此外,玻璃基板在汽車電子行業(yè)也扮演著至關(guān)重要的角色。隨著自動駕駛技術(shù)的進(jìn)步,安裝在汽車高頻雷達(dá)系統(tǒng)(工作頻段為77-81 GHz,需要精確識別車輛周圍物體)或高級駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)中的半導(dǎo)體器件,即使在極端高溫環(huán)境下也必須能夠無信號失真地工作;玻璃基板提供了一個能夠承受這些嚴(yán)苛條件的理想平臺。在包括智能手機和平板電腦在內(nèi)的消費電子領(lǐng)域,玻璃基板的應(yīng)用范圍正在不斷擴(kuò)大,涵蓋射頻微機電系統(tǒng)(RF-MEMS)封裝和用于可穿戴設(shè)備的小型基板,旨在使設(shè)備更輕薄,同時提高電池效率和數(shù)據(jù)處理速度。
在顯示行業(yè),例如8.5代液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光二極管(OLED)顯示面板的制造,玻璃基板作為核心底層材料的需求依然旺盛,其輕薄和高耐久性有助于提高良率并減少缺陷。
玻璃基板之所以受到市場的熱烈期待,是因為它們在結(jié)構(gòu)上可以克服半導(dǎo)體制造商在使用現(xiàn)有有機基板或硅中介層時遇到的關(guān)鍵物理瓶頸。
首要且最關(guān)鍵的優(yōu)勢在于能夠克服熱翹曲并實現(xiàn)超大尺寸。目前的AI芯片結(jié)構(gòu)以邏輯芯片(GPU)為中心,周圍環(huán)繞著多個高帶寬內(nèi)存(HBM)芯片;因此,基板尺寸呈指數(shù)級增長,從過去的30-40毫米增長到60-80毫米以上,甚至達(dá)到面板級。傳統(tǒng)的有機基板由于塑料和硅的熱膨脹系數(shù)(CTE)差異,在芯片運行并散發(fā)高溫時,不可避免地會發(fā)生翹曲——基板會像魷魚一樣彎曲變形。這種應(yīng)力會作用于連接芯片和基板的數(shù)萬個微小凸點,導(dǎo)致裂紋產(chǎn)生,最終使整個芯片停止運行。
相比之下,玻璃可以通過成分控制將其熱膨脹系數(shù)精確設(shè)定在3-5 ppm/°C,使其與硅芯片的熱膨脹系數(shù)完全一致。因此,無論施加多高的溫度,芯片和基板都以相同的速率膨脹,從而保持連接的完整性。在實際的超大尺寸面板封裝測試(尺寸為 510mm × 515mm)中,玻璃基板展現(xiàn)出卓越的尺寸穩(wěn)定性,與傳統(tǒng)的有機基板相比,翹曲度降低了 50% 以上。
第二個優(yōu)勢是超高的互連密度和帶寬擴(kuò)展。在表面粗糙的有機基板上,縮小電路線寬存在一定的局限性。而另一方面,在納米級平面玻璃基板上,可以輕松形成線寬超細(xì)、間距小于2 μm的重分布層(RDL)。這相當(dāng)于在芯片組間數(shù)據(jù)交換的“高速公路”(I/O帶寬)上呈指數(shù)級增長車道數(shù),從而克服數(shù)據(jù)瓶頸。
第三個優(yōu)勢在于其卓越的電氣特性和更高的功率效率。玻璃具有優(yōu)異的絕緣性能,其在高頻范圍內(nèi)的介電損耗遠(yuǎn)低于硅或有機材料。這顯著降低了信號穿過基板時的功率泄漏和信號失真,從而實現(xiàn)了能源效率的創(chuàng)新,數(shù)據(jù)處理速度可提升高達(dá) 40%,同時大幅降低服務(wù)器系統(tǒng)的整體功耗。尤其值得一提的是,用玻璃基板替代成本高昂、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的硅中介層,能夠顯著降低面板級基板的成本,從而帶來巨大的經(jīng)濟(jì)效益。
盡管玻璃基板具有諸多優(yōu)點,但要將其引入大規(guī)模生產(chǎn)系統(tǒng),仍需克服一些關(guān)鍵的缺點和物理限制。
最大的缺點在于材料本身的脆弱性。玻璃極易受到外部沖擊或應(yīng)力的影響,即使是輕微的劃痕也容易導(dǎo)致其破碎。因此,在半導(dǎo)體封裝生產(chǎn)線上,由于傳送帶和機械臂眾多,基板在運輸和加工過程中極易受損,確保面板在組裝階段的機械強度被視為一項關(guān)鍵挑戰(zhàn)。
此外,散熱管理的難度也是一大限制因素。正如Reddit等科技社區(qū)的專家所指出的,玻璃的導(dǎo)熱系數(shù)遠(yuǎn)低于硅或金屬。如果芯片散發(fā)的大量熱量無法順利地通過基板散發(fā)出去,而是被困在基板內(nèi)部,就會導(dǎo)致性能下降。為了克服這一問題,功能差異化至關(guān)重要,這就需要在多層基板結(jié)構(gòu)內(nèi)通過銅線精心設(shè)計散熱路徑,或者引入獨立的散熱解決方案。
從經(jīng)濟(jì)角度來看,其劣勢在于初始資本支出(CAPEX)和生產(chǎn)成本巨大。制造完美平整、無缺陷的特種玻璃并在其上蝕刻超精細(xì)電路需要全新的基礎(chǔ)設(shè)施,例如最先進(jìn)的激光設(shè)備和高真空沉積設(shè)備,這與現(xiàn)有的有機襯底工藝截然不同。這最大限度地增加了企業(yè)的初始資本負(fù)擔(dān),并造成了極高的技術(shù)準(zhǔn)入門檻。
核心工藝良率現(xiàn)狀
截至2026年5月,玻璃基板生態(tài)系統(tǒng)面臨的最關(guān)鍵挑戰(zhàn)是良率的穩(wěn)定。傳統(tǒng)有機基板的制造工藝經(jīng)過數(shù)十年的優(yōu)化,良率一直穩(wěn)定在90%至95%的高水平。相比之下,玻璃基板的良率目前停滯在75%至85%,導(dǎo)致其制造成本仍然是有機基板的兩到三倍。企業(yè)能否突破“經(jīng)濟(jì)可行的良率”門檻,將是決定2026年后能否成功實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)的關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)。
導(dǎo)致良率降低的最關(guān)鍵因素以及技術(shù)難度最高的工藝是玻璃通孔(TGV)工藝。為了在多層基板結(jié)構(gòu)的上下表面之間連接電信號,必須在非常堅硬且易碎的玻璃板上鉆出數(shù)萬個直徑從 40 μm 到 6 μm 不等的微孔。這些微孔的排列密度極高,每平方毫米可達(dá) 100 到 2500 個,這需要極其苛刻的加工條件,其中孔的縱橫比(孔的深度與寬度之比)可達(dá) 15:1。由于即使這數(shù)萬個微孔中只有一個出現(xiàn)錯位、內(nèi)壁出現(xiàn)微裂紋或殘留碎片,整個基板都將被報廢,因此毫不夸張地說,TGV 工藝的精度完全決定了最終的良率。
為了克服這些物理限制并提高產(chǎn)量,目前業(yè)界正在全面運用各種尖端特殊加工技術(shù)。由于玻璃的特性,傳統(tǒng)的機械鉆孔方法無法應(yīng)用,因此激光加工技術(shù)已成為標(biāo)準(zhǔn)。
最具代表性的專業(yè)技術(shù)是激光誘導(dǎo)深蝕刻(LIDE)法。該技術(shù)利用特定波長的激光照射玻璃;它并非物理鉆孔,而是局部改變玻璃的結(jié)構(gòu)特性,然后將玻璃浸入特殊的化學(xué)蝕刻劑中,精確溶解改變過的區(qū)域。
這使得可以在不產(chǎn)生微裂紋的情況下,大量形成完全垂直的微孔。最近,一家德國設(shè)備公司LPKF通過引入這種新一代激光系統(tǒng),各公司最大限度地提高了生產(chǎn)效率,并通過鉆孔速度大幅提高了 40% 以上。
更多突破性的技術(shù)進(jìn)步不斷涌現(xiàn)。2026年,韓國全南國立大學(xué)機械工程系的一個研究團(tuán)隊開發(fā)出一種名為“超短脈沖激光誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積”的新技術(shù),引起了業(yè)界的廣泛關(guān)注。該技術(shù)利用超短飛秒激光的非線性吸收效應(yīng),將穿透玻璃的光聚焦到基板的兩側(cè),從而無需單獨的掩模工藝,即可在玻璃基板的正反兩面靈活、選擇性地直接蝕刻導(dǎo)電電路。這項技術(shù)被認(rèn)為是一項重大突破,它通過大幅降低TGV工藝和重分布層(RDL)形成工藝的復(fù)雜性,克服了基于CPO的光電融合半導(dǎo)體中3D布線瓶頸的難題。
與鉆孔難度相當(dāng)?shù)奶魬?zhàn)在于電鍍工藝,該工藝需要將銅完美填充到孔內(nèi)以實現(xiàn)導(dǎo)電性。與塑料不同,玻璃表面極其光滑,導(dǎo)致鍍銅液難以牢固附著,容易脫落。為了解決這個問題,像以色列Extol這樣的專業(yè)電鍍公司不斷推進(jìn)先進(jìn)的化學(xué)電鍍技術(shù),力求將銅完全填充到垂直鉆孔的精細(xì)TGV通道中,不留任何空隙,同時保持與玻璃表面的牢固附著力。這種激光微加工技術(shù)與先進(jìn)材料化學(xué)的結(jié)合是提高成品率的關(guān)鍵,目前成品率徘徊在70%左右,而提高到90%以上——這是實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)的盈虧平衡點——是唯一可行的方案。
寫在最后
由于人工智能模型訓(xùn)練導(dǎo)致的指數(shù)級發(fā)熱和帶寬瓶頸,以及傳統(tǒng)有機基材造成的致命翹曲限制,全球數(shù)據(jù)中心網(wǎng)絡(luò)生態(tài)系統(tǒng)正被迫轉(zhuǎn)型為共封裝光學(xué)器件(CPO),放棄銅,轉(zhuǎn)而選擇光。最終,唯一能夠完美容納和控制這種光的潛力的物理載體,就是“特種玻璃”。
盡管目前的良率仍停滯在75%至85%之間,這在經(jīng)濟(jì)可行性方面構(gòu)成了一大障礙,而且材料本身的脆弱性和低導(dǎo)熱性等棘手的工程挑戰(zhàn)依然存在,但行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)正迅速尋求突破這一“死亡谷”的解決方案,例如采用超短脈沖激光布線技術(shù)(如ULCVD)和高精度TGV沉積化學(xué)工藝。
繼光通信之后,半導(dǎo)體歷史的下一個篇章將圍繞“玻璃”展開真正的競爭,玻璃是目前已知最冷、最硬,卻又完全透明的材料。
來源:本文轉(zhuǎn)載自【半導(dǎo)體行業(yè)觀察】
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